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激光干涉仪 GBM01A 平晶度 干涉条纹数检测

光干涉透射法检测元件厚度差的原理:在激光干涉仪进行透射测量时,激光光源发出的单色光,垂直向下经过被检元件上、下两表面被标准反射镜反射后会形成干涉条纹,每个点上所生的干涉条纹取决于该点上两相干的光的光程差。当光程差为nλ+0.5λ时,显示为暗条纹;当光程差为nλ+λ时,显示为亮条纹;
编号:
C20160415163
本店价:
¥87000.00
市场价:
¥95000
数量: 剩余库存:9999
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光干涉透射法检测元件厚度差的原理: 
在激光干涉仪进行透射测量时,激光光源发出的单色光,垂直向下经过被检元件上、下两表面被标准反射镜反射后会形成干涉条纹,每个点上所生的干涉条纹取决于该点上两相干的光的光程差。当光程差为nλ+0.5λ时,显示为暗条纹;当光程差为nλ+λ时,显示为亮条纹;

所以,当被检元件的两个面不完全平行,存在楔角时,沿楔角方向,元件的厚度逐渐增大,相应的光程差也逐渐变大,沿楔角方向就会产生间隔分布亮暗条纹。楔角越大,条纹越密集。
  

检测指标的简单说明:
PV值在数学上的定义是峰谷值( Peak to Valley),即最大值和最小值的差值。单位是λ(波长)。对应到干涉仪透射检测上,就是被检元件的厚度差。

RMS值在数学上的定义是均方根值(root-mean-square),单位是λ(波长),这是一个统计值,RMS的大小反映了这些数据值的离散程度。对应到干涉仪透射检测上,RMS值越小表明被检元件的厚度平滑性越好,高低起伏越少。

条纹根数是肉眼可见的被检元件厚度差的直观表现,与PV值成线性关系。条纹根数越少表明被检元件的厚度差越小。


技术参数:

序号

名称

GBM01A

1

测量原理

菲索干涉原理

2

激光器

半导体激光器 635nm

3

有效孔径

30mm  (单孔单波段)

4

标准镜面形精度

0.05λ

5

面形值重复精度

PV 0.06λ(标准片)

6

面形值量程

PV 0~3λ

7

测试时间

PV测试:1秒;条纹数测试:1秒内

8

夹具

9

软件

10

电源

220V 60W

11

通讯接口

USB

12

重量

15Kg

13

自动化接口

预留



仪器参数: 

序号

名称

GBM01A

1

测量原理

菲索干涉原理

2

激光器

半导体激光器 635nm

3

有效孔径

30mm  (单孔单波段)

4

标准镜面形精度

0.05λ

5

面形值重复精度

PV 0.06λ(标准片)

6

面形值量程

PV 0~3λ

7

测试时间

PV测试:1秒;条纹数测试:1秒内

8

夹具

9

软件

10

电源

220V 60W

11

通讯接口

USB

12

重量

15Kg

13

自动化接口

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